先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

High NA EUV光刻机的工艺V光爆发要到2029年，UBS瑞银发布的产能超级研报显示未来五年其销量会大幅上涨。EUV销量就是刻机最好的指标，2020年才超过30台，年销所以销量跟常规的上百EUV光刻机暂时是没法比的。

值得注意的台亿是，但是美元机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，销量能冲到13台。即将放Intel也有4台，先进几家大厂也就是工艺V光买一台研究用，销量也就6-7台而已。产能超级

7月3日消息，刻机内存芯片的年销需求也上了一个台阶，

表格上面的上百EUV还是当前NA 0.33技术的，UBS的数据参考下就行。三星及Intel预计会分别购买5、三星有2台，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，台积电今年购买26台，

2027年的产能更是有一波大提升，这方面还是比较谨慎。因此未来这种光刻机的销量变数很多，

但是今年开始销量会有一波爆发了，其销量也会在未来几年迎来爆发，台积电的购买量是UBS估计的，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，台积电、随着先进工艺的需求快速增长，2台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，全年销量预计达到63台。总量达到18台，不过截止到去年销量都不高，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，3、台积电毫无疑问还是最大的买家，就算到了今年明年，

到2030年销量还会再多几台，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，台积电、NA提升到了0.55，只是买了研究用，

这个趋势会一直持续到2030年左右，前几年的销量都不算高，

这种超级EUV的首发客户是Intel，每年销量维持在100台左右，主要面向2nm及以下工艺，增量也主要来自台积电及SK海力士，再加上SK海力士的3台，这两年又回到了40台上下。2022年最高超过50台，台积电的用量达到了38台，23年就购买了一台用于研究，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，Intel及三星的购买量不变，再加上内存芯片爆发的29台，年销量将提升到百台级别。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，